潔凈車間空氣凈化系統的組成，包括空氣除塵系統、空氣消毒系統、氣流組織系統等單元。空氣凈化工程主要設備由引風機、前置過濾器、主過濾器（靜電除塵器）、臭氧殺菌層、活性炭過濾器、負離子發生器等幾部分組成。此外，為保證空氣中的濕度和溫度，還可增設加熱或冷卻、恒濕等裝置。
（1）引風機：一般采用多級離心式通風機，即能保證風量又能保證壓力，同時噪音小。 使用靜電除塵則可選用貫流式風機也可滿足要求。
（2）前置過濾器：即初效過濾器和中效過濾器，目的是除去新風中大于5 的顆粒，保護其后的高性能過濾設備。
（3）主過濾器：除去小于1 的顆粒。在過濾器和靜電式除塵器中任選一種即可。其中靜電使用式除塵器的比例為90%。
（4）臭氧殺菌層：使用臭氧發生器產生臭氧從而對空氣進行殺菌和滅菌。
（5）活性炭過濾器：經主過濾器后再通過活性炭柱過濾，可除去臭氧和酸性氣體，能夠凈化氣體中的粉塵、氣溶膠和蒸汽。
（6）負離子發生器：陰離子發生器能讓漂浮在空氣中的微粒帶上負電，使這些顆粒易被捕集或沉淀，從而使車間空氣更清新。因此，絕大多數空氣潔凈系統都配置了負離子發生器，以提高空氣質量。