風壓測試儀器:主要用于測定潔凈室之間和潔凈與非潔凈區之間微壓差,也可利用壓差法測量風速,計算風量。
1、液體壓力計:液體壓力計具有使用方便、價格低廉、度較高、制造安裝方便等優點,但有測量范圍受限制、玻璃管易碎等缺點。
常用的工作液體有:酒精、水、水銀等,在潔凈室測量中主要是酒精和水。
液體壓力計主要有:U型管壓力計、斜管壓力計、補償式壓力計。
2、彈簧壓力計:彈簧壓力計是根據彈簧元件在所測壓力作用下發生變形,其變形量與所測壓力成函數關系這一原理制成的,其優點是構造簡單、便于攜帶、安裝方便、價格低廉。
常用的彈簧壓力計主要有:彈簧管壓力計、膜片管壓力計和膜核壓力計。
3、電學壓力計:電學壓力計是利用壓電原理或高壓下電阻變化等電學方法來測定壓力的壓力計,適用于測量變化極快、數值很高或近乎真空時的壓力。