為防止污染物透過圍護(hù)結(jié)構(gòu)縫隙侵入潔凈室，潔凈室及潔凈設(shè)施的圍護(hù)結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的氣密性，同時和不清潔的周邊環(huán)境要維持一定的正壓差。潔凈室的正壓是靠送風(fēng)_{與回風(fēng)和排風(fēng)的差值實(shí)現(xiàn)的。
當(dāng)潔凈室相對于周邊環(huán)境具有的正壓差，則通過潔凈室的縫隙、開孔外溢的氣流量為：}                    （式一）
此時，潔凈室相對周圍的正壓為：
（式二）
式中，為空氣流過縫隙或孔口的局部阻力系統(tǒng)；
          為空氣流過縫隙或孔口的流速，m/s；
         為空氣密度，kg/m³。
由式二可得：

則維持正壓時的泄漏風(fēng)量為：

（式三）
式中，為縫隙或孔口的過流面積，m²。
由式三可知維持的正壓值越高，縫隙或孔口的合計面積越大，則泄漏風(fēng)量也越多。過多的無效泄漏風(fēng)量將增大受控環(huán)境的能耗，因此應(yīng)關(guān)注其氣密性，在維持必要壓差條件下減低其泄漏風(fēng)量。值得注意的是，根據(jù)上述分析，在進(jìn)行潔凈室壓差檢測之前，必須先驗證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時，應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。在此前提下，再逐一測定封閉的潔凈室和周圍附屬環(huán)境之間、周圍附屬環(huán)境與外部環(huán)境間的壓差。如無周圍的附屬環(huán)境，則測定與記錄下封閉的潔凈室與外部環(huán)境之間的壓差。
通常使用電子微壓計、傾斜式微壓計或機(jī)械式壓差計來測定區(qū)間的壓差。
按照 GB50073-2001《潔凈廠房驗收規(guī)范》的規(guī)定：不同等級潔凈室及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應(yīng)不小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa。
國內(nèi)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) JGJ71-90《潔凈室施工及驗收規(guī)范》除與GB 50073-2001的規(guī)定相同外，并對ISO 5級以上的單向流潔凈室有如下規(guī)定：潔凈度高于5級的單向流潔凈室在開門狀態(tài)下，在出入口的室內(nèi)側(cè)0.6m處不應(yīng)測出超過室內(nèi)級別上限的濃度。