表示單向流潔凈室性能好壞的特性指標(biāo)主要有三項：流線平行度、亂流度和下限風(fēng)速。
（1）流線平行度
流線平行的作用是保證塵源散發(fā)的塵粒不作垂直于流向的傳播。如果這種傳播范圍在允許范圍內(nèi)，那么流線略有傾斜也是允許的。
美國對于單向流潔凈室高度規(guī)定為不小于2.7m，規(guī)定的工作區(qū)高度比較高。有些操作區(qū)可能會在比工作區(qū)高的地方，一般這些區(qū)域不會超過人的高度，大約在1.8m。如果一個工作人員站著進行操作，應(yīng)避免距離地面1.8m處散發(fā)的塵粒降落到離地面0.75m高時，超過該工作人員的工作范圍，進入到相鄰工作人員的工作范圍，對相鄰區(qū)域環(huán)境造成影響。例如，一個工作人員在桌面上的操作范圍為1m，如果人站立操作，距離桌面1.05m處散發(fā)的塵粒在降落到桌面時，仍未超出自己的工作范圍，就不會對相鄰區(qū)域的工作人員造成污染。因此，如果流線是斜直線，那么流線與水平面的傾斜角應(yīng)大于arctan1.05/0.5=65º，這個流線傾斜角同樣也適用于水平單向流潔凈室。
如果流線是漸變流的曲線，那么其和工作區(qū)下限平面的交點以及和下限平面之上1.05m處的平面的交點之間的連線，與水平方向的傾角應(yīng)大于65º。
美國有關(guān)100級(5級)單向流潔凈室的驗收規(guī)定中，對于氣流流線的平行度的規(guī)定是：從頂棚以下92cm到地面以上76cm的區(qū)域，風(fēng)速的水平分量不應(yīng)使塵粒側(cè)向散布距離超過60cm。因為美國對單向流潔凈室高的規(guī)定是不小于2.7m，換算成流線傾斜角則約為61º。流線平行度角度要求每根流線的傾角不僅要大于65º，而且相鄰兩根流線的夾角也要盡可能小。總之，單向流潔凈室要求流線之間既要平行，在0.5m距離內(nèi)線間夾角大不能超過25°，又要求流線盡可能垂直于送風(fēng)面，其傾斜角不能小于65º，或者簡單用流線偏離垂直線的角度表示，GB 50591- 2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》規(guī)定該角不應(yīng)大于15º。
（2）亂流度(速度不均勻度)
速度場均勻?qū)τ趩蜗蛄鳚崈羰沂菢O其重要的，不均勻的速度場會增加速度的脈動性，促進流線間質(zhì)點的摻混。亂流度是為了說明速度場的集中或離散程度，用于不同速度場的比較。
（3）下限風(fēng)速
下限風(fēng)速是指保證潔凈室能控制以下四種污染氣流的小風(fēng)速：
1）當(dāng)污染氣流多方位散布時，送風(fēng)氣流要能有效控制污染的范圍；不僅要控制上升高度，還要控制橫向擴散距離。
2）當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流同向時，送風(fēng)氣流要能有效地控制污染氣流到達下游的擴散范圍。
3）當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流逆向時，送風(fēng)氣流應(yīng)能將污染氣流抑制在必要的距離之內(nèi)。
4）在全室被污染的情況下，要能以合適的時間迅速使室內(nèi)空氣自凈。
下限風(fēng)速是潔凈室應(yīng)經(jīng)常保持的低風(fēng)速，過濾器阻力升高風(fēng)速將下降，因此確定初始風(fēng)速時要考慮這個因素或使風(fēng)量、風(fēng)速可以調(diào)節(jié)。ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)對單向流潔凈室建議的平均風(fēng)速是：ISO 5級（100級）0.2～0.5m/s；高于ISO 5級（100級）0.3～0.5m/s。