所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(一)電荷等量的均勻的電中性狀態,而使電荷過剩,物體呈帶電狀態,由于這些電荷平時是不流動的,故稱靜電。
在潔凈車間內靜電導致的事故有以下幾方面:
1、靜電引起的靜電電擊,引起人的不安全和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2、靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內,搖晃數次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;
3、靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
4、靜電放電的發光可導致照相膠片等感光破壞;
5、靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染。
靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所以這些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因此表現為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈車間中特別嚴重,是因為不但在潔凈車間中具備前述產生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈車間中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都容易產生靜電和集聚靜電,在潔凈車間的靜電災害未被重視以前。