一、無塵室系統施工流程
1、新風經過濾后與回風混合，進入風冷空調機，通過中效過濾器，經末端低阻力過濾器后將符合溫濕度、潔凈度要求的空氣送入無塵室。
2、氣流組織
（1）萬級間全部采用上送兩側回風，車間內利用柱位、側墻做技術夾層回風道，接回風管道至空氣處理機組。空氣經粗、中、高三級過濾器和溫濕度處理后送入凈房。
（2）新風系統進行粗、中二級過濾，以確保空氣的含塵濃度較低，減少外部塵源影響，提高無塵室的凈化效果，并大大延長過濾器的使用壽命，減少運行維護費用。
（3）新風量根據人員衛生新風要求(每人新風量＞35m3/h)，并保證無塵室內正壓的要求經計算確定。(人員在20人以內)
二、無塵室施工
（1）天花：潔凈區及生區域用雙層保溫（PU）彩鋼板，無塵明亮，色用灰白，厚50mm。符合電子廠房潔凈防靜電要求。
（2）間隔：潔凈區及生區用雙面彩鋼保溫（PU）板圍護及間隔。潔凈車間內間隔與地面及無花交角做元弧及陰角接口，防積塵及易于衛生清潔。
（3）密閉門：單扇門：900*2000，上做玻璃觀察窗（同間隔墻平窗尺寸）,裝通道鎖，門及門框采用不湫鋼制作。
（4）地面：防靜電規范
A.潔凈區水泥地面經處理后做3mm防靜電環氧地坪。符合歐洲EN548標準和要求。防火性能符合：DIN4102-1。B1級：抗燃燒性符合ISO06923，難燃；抗靜電性＜+/-100V。抗化學性能符合EM423；耐稀酸、油脂、及乙醇、丙酮、石漬溶劑等。具有不吸塵、不吸灰的特性。
（5）柱子：潔凈區柱子用彩鋼板全包邊，并作?回風技術夾層。
（6）風淋室：按規范要求，無塵室的風淋室設計雙人的2個。
三、無塵室照明、配電
無塵室（1萬級）用明裝凈室帶罩防塵燈402。工作區照度＞250Lux，走道照度＞100Lux,有精細加工操作區域可采用局部照明。布線按國家規范執行，用穿線鋼管暗敷，符合防火及用電規范。所有管線穿過潔凈區域均做好密封，線管線槽的內孔（內槽）應全密封。進入凈房的氣管、水管也須做密封，能設置在頂棚上走的管道，設置在頂棚上。使車間整潔干凈。照明、配電按國家有關規范及甲方要求，設計及制作，滿足生及管理對設備運行及控制的要求。